梳状一维位置敏感探测器（PSD)的研制

唐九耀 ¹浙江大学物理系 ²吴旭明 ³陈钰清¹

扫码查看

作者信息

1. 浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心，310027，杭州
2. 310027，杭州
3. 浙江大学物理系，310027，杭州
折叠

摘要

本文分析了梳状一维PSD 的工作机理，以及和条状一维PSD 相比它所具有的高线性度、高准确度的优点。此外，本文还提出了梳状一维PSD 的设计原理，制作工艺以及测试结果。采用IC 工艺技术所制作的梳状一维PSD 显示了良好的光电性能，优越的位置线性度和准确度。测试表明，本文所研制的PSD 器件在反偏10V 时的暗电流约为3 nA，波长950 nm 处的峰值灵敏度为0.48 A/W，位置非线性度在0.1 ﹪左右。

关键词

光电效应/位置敏感探测器/硅光电探测器

引用本文复制引用

主办单位

中国光学学会/浙江省光学会/浙江大学

会议名称

中国光学学会2004年学术大会

会议时间

2004-04-14

会议地点

杭州

会议母体文献

中国光学学会2004年学术大会文集

出版时间

2004

段落导航