基于MEMS技术的单片集成压力-加速度微传感器的研究

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基于MEMS技术的单片集成压力-加速度微传感器的研究

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中文摘要：本文提出了一种用于TPMS(胎压监测系统)的单片集成压力-加速度微传感器.介绍了微传感器的主要结构和工作原理,并对微传感器研制过程中的关键技术进行了详细地分析和探讨.

作者：

肖鹏、汪家友、杨银堂、娄利飞、刘毅

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作者单位：

西安电子科技大学微电子学院,西安,710071

关键词：

轮胎压力微传感器单片集成

主办单位：

中国电子学会

会议名称：

第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会

会议时间：

2005-11-01

会议地点：

北京

会议母体文献：

第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会论文集

页码：

576-580

出版时间：

2005