RF-PCVD法制备纳米Al2O3粉体动力学模型的建立

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中文摘要：本文采用RF-PCVD法,以AlCl3+O2为反应体系,分析高频等离子反应器内的高温化学反应、Al2O3气相成核以及晶粒长大过程,认为晶粒的长大过程为制备过程的控制步骤,并决定最终粉体的粒度大小.采用分子动力论中的Brownian碰撞理论,经合理简化,建立了晶粒长大的动力学模型.模型表明:颗粒的长大速率与温度的1/2次方、Al2O3的浓度成正比,与粒径的2/3次方成反比,体系本身对长大过程存在自约束现象.在高频等离子反应器内,传递因素决定纳米颗粒的最终粒径大小及其分布。

作者：

王俊文、孙彦平、庄壮、陈新谋

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作者单位：

太原理工大学化学化工学院,山西,太原,030024

石家庄经济开发区新谋新技术公司,河北,石家庄,050035

关键词：

高频等离子体化学气相沉积纳米粉体氧化铝粉体动力学模型

主办单位：

中国机械工程学会

哈尔滨工业大学

河南科技大学

会议名称：

第五届全国材料与热加工物理模拟及数值模拟学术会议

会议时间：

2006-10-23

会议地点：

河南洛阳

会议母体文献：

第五届全国材料与热加工物理模拟及数值模拟学术会议论文集

页码：

71-75

出版时间：

2006