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有机掺铒光波导放大器的研究进展

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本文介绍有机光波导放大器的基本原理；介绍有机光波导放大器的最新研究进展，包括波导材料（聚甲基丙烯酸甲酯和双酚A环氧树脂共聚物和配合物）、增益特性以及制作工艺；最后给出反应离子刻蚀工艺步骤并制作出了光波导器件。

张希珍

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集成光电子国家重点联合实验室吉林大学实验区，长春市解放大路119号，130021

光波导放大器 泵浦 反应离子刻蚀 有机掺铒

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