Fe/Mo纳米多层膜的结构与纳米力学性能研究

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中文摘要：通过射频溅射的方法在单晶硅基底上制备了不同调制波长的Fe/Mo纳米多层膜.利用XRD分析了薄膜相结构,用纳米力学微探针测定了薄膜的纳米硬度及弹性模量.结果表明,随着调制波长的增加,子层平行于表面的密排面发生了变化;纳米硬度在小调制波长下出现了超硬现象:弹性模量基本不随调制波长的变化而变化。

作者：

王海斗、徐滨士、刘家浚、李国禄

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作者单位：

装甲兵工程学院,装备再制造技术国防科技重点实验室,北京,100072

清华大学,机械工程系,北京,100084

河北工业大学,材料科学与工程学院,天津,300130

关键词：

金属纳米多层膜 X射线衍射纳米力学性能射频溅射薄膜相结构弹性模量

主办单位：

中国机械工程学会

会议名称：

2006全国摩擦学学术会议

会议时间：

2006-07-25

会议地点：

哈尔滨

会议母体文献：

润滑与密封

页码：

55-58

出版时间：

2006