方震、中国科学院研究生院、赵湛、王奇、曾欢欢、王溢仲、张博军
中国科学院电子学研究所,北京,100080
北京,100039
集成温湿压传感器 探空温湿压系统 MEMS F350 CC1000 MAX2235
中国机械工程学会
中国微米纳米技术第七届学术年会
2005-08-13
大连
中国机械工程
61-63
2005