一维纳米材料的ECR-CVD方法制备

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中文摘要：本文应用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积方法(ECR-CVD)进行了一维纳米材料的制备.以Fe304纳米粒子为催化剂,采用不同的气源,在多孔硅基底上制备出了碳纳米管、掺硼碳纳米管以及异质结构的纳米管.利用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和X射线光电子谱(XPS)对样品的形貌、结构及组份进行表征.

作者：

王志、巴德纯、蔺增、曹培江

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作者单位：

东北大学真空与流体工程研究中心(沈阳)

中国科学院物理研究所(北京)

关键词：

纳米材料纳米管化学气相沉积 X射线光电子谱

主办单位：

中国真空学会

会议名称：

2004全国真空冶金与表面工程学术研讨会

会议时间：

2004-05-31

会议地点：

沈阳

会议母体文献：

2004全国真空冶金与表面工程学术研讨会论文集

页码：

175-178

出版时间：

2004