一种微梁直拉直压高灵敏度高带宽微机械压阻式加速度传感器

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中文摘要：本文提出了一种新型的微梁直拉直压微机械压阻式加速度传感器.理论模型和有限元模拟分析了一种特殊的三梁结构,此结构能极大的提高传感器的灵敏度,同时具有较高的自由振动频率.基于该传感器的设计规则,设计了各种量程的传感器.给出了使用SOI硅片制作传感器的制造工艺.工艺过程包括一次反应离子刻蚀和一次深反应离子刻蚀(DRIE).本文最后给出了器件的封装和特性测试结果.

作者：

黄树森、李昕欣、戈肖鸿、解健芳、陈士清、王跃林

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作者单位：

传感器国家重点实验室,中科院上海微系统与信息技术研究所

关键词：

微梁直拉直压压阻加速度传感器有限元模拟深反应离子刻蚀(DRIE)

主办单位：

中国仪器仪表学会

中国电子学会

中国航空学会

会议名称：

第八届敏感元件与传感器学术会议

会议时间：

2003-09-01

会议地点：

北京

会议母体文献：

第八届敏感元件与传感器学术会议论文集

页码：

257-260

出版时间：

2003