郭晓旭、朱美芳
科技大学研究生院物理系(北京)
热丝法 硅薄膜 化学反应动力学
中国电子学会
第六届全国固体薄膜学术会议
1998-09-01
成都
第六届全国固体薄膜学术会议论文集
42-43
1998
NETL
