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MEMS器件微装配系统的设计与研制

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本文在分析微装配特点的基础上,讨论了微装配系统的功能需求和组成.提出了一种新型MEMS器件微装配系统设计方案,描述了系统样机关键技术模块的研制方案.以微型光谱分析仪极板对准为示范目标开展了实验研究,结果表明该系统适用于典型MEMS芯片的微对准和封装研究.

陈立国、孙立宁、荣伟彬、谢晖

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哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001

微装配系统 MEMS 显微视觉 作业工具

中国机械工程学会

中国微米纳米技术第七届学术年会

2005-08-13

大连

中国机械工程

1226-1228,1232

2005