一种基于MEMS技术的轻小型爆炸物探测器研究

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中文摘要：提出了一种基于MEMS技术的爆炸物探测器的检测原理及其制作方法,并研制出该探测器样机.对两种常见固态爆炸物梯恩梯(TNT)和黑索金的探测实验表明,它能够检测出微克量级的爆炸物微粒,检测极限约为1μg.该探测器较适用于对大宗可疑物品进行微克至毫克量级采样后的快速检测.

作者：

孔德义、梅涛、陶永春、张东风、张涛、路巍、倪林、张正勇

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作者单位：

中国科学院合肥智能机械研究所,传感技术国家重点实验室,合肥,230031

关键词：

MEMS 爆炸物探测器梯恩梯黑索金

主办单位：

中国机械工程学会

会议名称：

中国微米纳米技术第七届学术年会

会议时间：

2005-08-13

会议地点：

大连

会议母体文献：

中国机械工程

页码：

163-165

出版时间：

2005