采用激光对YBCO超导薄膜局域改性的实验研究

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中文摘要：为了利用超导薄膜制作高性能电子器件和电路，必须发展超导薄膜的平面工艺。该文采用脉冲激光和掩膜方法进行了YBCO超导薄膜局域改性的实验研究，对改性条件等参数作了详细报道，并对改性的薄膜作了成分及超导电性的分析。最后利用微波近场显微镜对用激光局域改性方法制作的YBCO薄膜条纹器件进行了微波特性分布的分析。结果表明这是一种合适的制作高Tc超导薄膜器件的方法。

作者：

刘雷、冯一军、傅泽禄、赵恩海

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作者单位：

南京大学电子科学与工程系(南京)

关键词：

激光超导薄膜局域改性激光超导改性

主办单位：

中国电子学会

会议名称：

第五届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议

会议时间：

2000-08-01

会议地点：

成都

会议母体文献：

第五届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议论文集

页码：

140-144

出版时间：

2000