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分子束外延GaAs衬底的化学制备
李灵肖 1金才政 1曾一平 1潘昆1
作者信息
摘要
分子束外延是制备超晶格等微结构材料的重要手段之一。由于分子束外延不角液相外延或化学气相外延那样，在生长羊可进行原位回熔或腐蚀。因此衬底表面质量的好坏对分子束外延层的质量有极大的影响。
关键词
分子束外延/微结构/衬底质量/GaAs衬底/化学制备引用本文复制引用
主办单位
中国电子学会会议名称
第七届全国固体薄膜学术会议会议时间
2000-10-01会议地点
广西北海会议母体文献
第七届全国固体薄膜学术会议论文集页码
142-142出版时间
2000