溶胶--凝胶法制备V<,2>O<,5>薄膜的气敏特性研究

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中文摘要：该文研究了用无机溶胶凝胶法制备的V<,2>O<,5>薄膜的XRD结果及其气敏特性。凝胶在400℃下烧结12小时后完全形成了V<,2>O<,5>晶体。掺3wt℅Pt的V<,2>O<,5>薄膜在较大范围内对乙醇具有较高的灵敏度。加热电压为5.5V时灵敏度达到最大值。该气敏薄膜具有较好的选择性，NH<,3>、H<,2>、CO、CH<,3>COCH<<3>等气体不干扰元件的测量。元件的响应时间为15s，恢复时为5s。

作者：

侯凤琴、张英兰、童茂松

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作者单位：

中科院长春光机与物理研究所(长春)

吉林大电子工程系, 集成光电子国家重点联合实验室(长春)

关键词：

溶胶-凝胶法 V<,2>O,,5>薄膜气体传感器气敏特性

主办单位：

中国电子学会

会议名称：

第七届全国固体薄膜学术会议

会议时间：

2000-10-01

会议地点：

广西北海

会议母体文献：

第七届全国固体薄膜学术会议论文集

页码：

187-189

出版时间：

2000