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用于制造光学薄膜的先进等离子体源

尤大纬 王宇 李晓谦 王怡德 林永昌
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用于制造光学薄膜的先进等离子体源

尤大纬 1王宇 1李晓谦 1王怡德 2林永昌3
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作者信息

  • 1. 中国科学院空间科学与应用研究中心
  • 2. 北京仪器厂
  • 3. 北京理工大学
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摘要

该文就研制先进等离子体源(GIS)的意义，设计及调试进行了论述。

关键词

光学薄膜/等离子体辅助镀膜/等离子体源

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主办单位

中国电工技术学会

会议名称

中国电工技术学会第六届学术会议

会议时间

1999-06-01

会议地点

北京

会议母体文献

中国电工技术学会第六届学术会议论文集

页码

553-564

出版时间

1999
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