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硅材料的透射电镜分析

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陈一、曾伟、胡岗、唐雷钧、宗祥福

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大学材料科学系

硅材料 透射电镜 检测

中国有色金属学会

1998年全国半导体硅材料学术会议

1998-09-01

上海

98年全国半导体硅材料学术会议论文集

207-211

1998