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GaN基材料的RF等离子体MBE生长与特性

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齐鸣、李爱珍、李伟、赵智彪、张永刚、陈建新

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中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室

GaN基材料 RF等离子体 MBE生长

中国物理学会

中国电子学会

中国有色金属学会

第五届全国分子束外延学术会议

1999-06-20

昆明

第五届全国分子束外延学术会议论文集

16-17

1999