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Si(111)衬底上SiC的外延生长及其性能

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王引书、李晋闽、林兰英、张方方

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中国科学院半导体研究所(北京)

Si(111)衬底 SiC 外延生长

中国物理学会

中国电子学会

中国有色金属学会

第五届全国分子束外延学术会议

1999-06-20

昆明

第五届全国分子束外延学术会议论文集

115-116

1999