陈涛、金仁成、张凤田、王宏斌
大连理工大学微系统研究中心,大连,116024
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024
微气压传感器 模糊控制 模糊PID控制 MATLAB仿真 测试系统 气压控制
中国微米/纳米技术学会
中国仪器仪表学会
中国机械工程学会
第八届中国微米/纳米技术学术年会
2006-09-21
南京
传感技术学报
1871-1874
2006