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基于MATLAB的微气压传感器测试系统的气压控制仿真

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本文针对微热板式微气压传感器的静态和动态性能测试,对传感器的真空测试环境进行了实时控制仿真.运用模糊控制算法与模糊PID控制算法,对实验进行了建模及MATLAB仿真,并比较了两种算法的控制效果.结果显示,调整系统控制量的模糊PID控制稳态误差小,控制效果明显优于模糊控制算法.本仿真结果为实现传感器所需真空测试环境1kPa~100kPa的实时气压控制提供了依据.

陈涛、金仁成、张凤田、王宏斌

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大连理工大学微系统研究中心,大连,116024

大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024

微气压传感器 模糊控制 模糊PID控制 MATLAB仿真 测试系统 气压控制

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