复合量程微加速度计的研究

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中文摘要：在同一个物理过程中往往存在相差上数十倍甚至上万倍的多个加速度值需要测量,例如,分析弹体在发射和飞行过程中的受力情况,既需要测试发射过程中上万个g的加速度,也需要测试飞行过程中几个g的加速度.在这些场合用同一个加速度计很难满足整个过程的测试要求.针对类似的需求,本文介绍了一种由四个压阻式微加速度计组成的复合量程微加速度计,四个微加速度计量程分别为100 g、500g、1000 g和2000 g.除了主要介绍微加速度计阵列的设计、制造和测试外,还着重介绍了低量程传感器在高过载环境下的结构防护问题.线性测试结果表明该复合量程微加速度计具有较好的线性度,因而可以同时在测量四个不同的量程的加速度值.

作者：

熊继军、毛海央、张文栋、徐栋、郭涛

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作者单位：

中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051

关键词：

复合量程微加速度计压阻式抗过载体硅工艺线性度传感器

主办单位：

中国微米/纳米技术学会

中国仪器仪表学会

中国机械工程学会

会议名称：

第八届中国微米/纳米技术学术年会

会议时间：

2006-09-21

会议地点：

南京

会议母体文献：

传感技术学报

页码：

2200-2203

出版时间：

2006