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近场扫描光学显微镜音叉光纤探针模块制作

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本文介绍了用于近场扫描光学显微镜的音叉光纤探针模块的制作方法。采用热拉伸和化学腐蚀相结合的方法制作光纤探针。介绍了光纤探针和音叉的制作方法工艺和制作过程中的注意事项，以及光纤探针与音叉的粘接技术。采用打磨音叉一臂使其减重并粘合光纤探针，制成了高质量的音叉光纤探针模块。

柯燕、王克逸

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中国科学技术大学精密机械与精密仪器系，安徽，合肥，230027

近场光学 音叉光纤探针模块 光学显微镜

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