系统级设计方法及其在力学特性集成测试中的应用

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中文摘要：随着对微尺度下MEMS材料力学特性研究的深入,片上集成测试方法应用愈加广泛.针对MEMS系统具有多能量域耦合的特点,应用基于MEMS宏模型技术的系统级设计工具来获得整个系统的行为特性已成为研究热点.概述了几种建立MEMS宏模型的基本方法,并对其中的节点法进行了详细阐述,利用CoventorWare软件设计了一种测试多晶硅杨氏模量的集成测试结构,首次将系统级设计方法引入集成测试结构的设计,提高了设计效率,仿真结果可靠.

作者：

关乐、辽宁省微纳米技术及系统重点实验室、褚金奎、王晓东、张段芹、王立鼎

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作者单位：

大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116023

大连,116023

关键词：

系统级设计宏模型集成测试杨氏模量

主办单位：

中国微米/纳米技术学会

中国仪器仪表学会

中国机械工程学会

会议名称：

第八届中国微米/纳米技术学术年会

会议时间：

2006-09-21

会议地点：

南京

会议母体文献：

传感技术学报

页码：

1313-1318

出版时间：

2006