复合量程微加速度计中阻尼的分析与设计

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中文摘要：为了避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏,需要在结构中合理设计阻尼.本文设计了一个复合量程压阻式微加速度计,为了使结构中各个传感器具有较好的阻尼参数,通过静电键合在硅结构层下制作一玻璃层.根据Reynolds方程,可知当硅-玻璃静电键合间距d=2.25μm时,复合量程微加速度计中各个传感器可得到较好的阻尼比.

作者：

毛海央、熊继军、张文栋、郭涛、徐栋

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作者单位：

中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原,030051

关键词：

复合量程微加速度计压阻式二阶系统阻尼传感器

主办单位：

中国微米/纳米技术学会

中国仪器仪表学会

中国机械工程学会

会议名称：

第八届中国微米/纳米技术学术年会

会议时间：

2006-09-21

会议地点：

南京

会议母体文献：

传感技术学报

页码：

2186-2189

出版时间：

2006