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丝网印刷磷浆的特性及其快速热扩散行为研究

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本文介绍了自行研制的丝网印刷磷浆的主要理化特性,并在自制的快速扩散炉上对其扩散行为进行了研究,比较了不同磷浆浓度,不同快速扩散温度及不同扩散时间对扩散结果的影响.研究发现,扩散后的主要参数如方块电阻、结深及表面浓度可控,扩散杂质浓度分布陡峭.高质量的丝网印刷磷浆的制备及其优异的快速扩散特性,可用于低成本制备选择性发射极太阳电池.

姚朝晖、云南师范大学太阳能研究所、刘祖明、廖华、夏朝凤、李景天、陈庭金

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中国农业大学水利与土木工程学院,北京,1000831

昆明,650092

云南师范大学太阳能研究所,昆明,650092

丝网印刷 磷浆 选择性发射极 快速热扩散 太阳电池

中国可再生能源学会

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第九届中国太阳能光伏会议

2006-11-01

成都

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62-66

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