反可见、中红外、透10.6 μm高能激光分色镜的研制

冯君刚 ¹王笑夷 ¹徐颖 ¹高劲松¹

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作者信息

1. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033
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摘要

本文介绍了利用离子辅助在ZnSe基底上沉积YbF3和ZnSe制作反可见、中红外、透10.6μm高能激光分色镜的理论和工艺方法.采用红外优秀的镀膜材料YbF3替代传统的有放射性红外镀膜材料ThF4用于制作反可见、中红外、透10.6μm高能激光分色镜取得了较好的效果.同时所研制的分色镜在透射率、反射率,吸收等光学性质,应力硬度牢固度等力学性质,和抗高能激光损伤阈值等方面进行了一系列的测试,基本达到理想的指标.

关键词

离子辅助沉积/高能激光分色镜/YbF3薄膜/激光阈值/光学薄膜

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主办单位

中国仪器仪表学会

会议名称

2004第四届精密工程学术研讨会

会议时间

2004-07-01

会议地点

重庆

会议母体文献

光学精密工程

页码

254-256

出版时间

2004

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