新型5自由度光学非球面CAM系统

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中文摘要：该文介绍自行研制的采用计算机控制光学表面成形技术的新型非球面CAM系统ZDCCOS。它包括5自由度（4轴数控、1轴浮动）的研磨热量光数控机床、专用双旋转研磨抛光头和检验面形的CQG-1型数字波面干涉仪。加工时，计算机控制非球面工件作2维摆动与旋转，研磨抛光头作3维移动，保证加工工具始终处于加工点的法向。经快速精磨和抛光，该系统加工了一个Φ300mm，F5.9的高陡度打靶聚焦透镜工艺试样，面形精度达到了 1.2λ（RMS，λ=0.6328μm）。

作者：

郑为民、曹天宁

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作者单位：

中国科学院上海天文台(上海)

浙江大学现代光学仪器国家重点实验室(杭州)

关键词：

光学非球面 CAM 计算机控制光学表面成形技术干涉检测计算机仿真

主办单位：

中国仪器仪表学会

会议名称：

中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会

会议时间：

1999-11-25

会议地点：

成都

会议母体文献：

仪器仪表学报(1999第4期增刊)

页码：

71-73

出版时间：

1999