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用原子力显微镜实测微区的位移场

徐武城 陈翔
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用原子力显微镜实测微区的位移场

徐武城 1陈翔2
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作者信息

  • 1. 金陵石化职工大学
  • 2. 南京船舶检验局
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摘要

该文介绍用原子力显微镜测量微区表面形貌，并结合数字图像相关分析，实测得微区位移场，按显微镜的精度，测量分辨率可达纳米量级。作为应用实例，还介绍了金属损伤观测和单晶硅片键接界面处热变形试验。

关键词

细观/位移/原子力显微镜

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主办单位

中国力学学会

会议名称

第九届全国实验力学学术会议

会议时间

2000-01-01

会议地点

广州

会议母体文献

论文集

页码

314-317

出版时间

2000
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