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相移干涉仪测量波前PSD

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该文重点叙述了用WYKO公司24”相移干涉仪测量大尺寸光学元件波前的方法，元件的材料包含了光学玻璃、磷酸盐钕玻璃和KDP晶体等，形状有圆、方及多边形等，测量了光学元件的反射或透射波前，以及所对应的波前PSD测量结果，并讨论了应用波前PSD的意义和进一步的研究方法。

顾元元、柴林、许乔、张蓉竹

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成都精密光学工程研究中心

相移干涉仪 波前 功率谱密度 空间频率

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