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MEMS微加速度传感器的系统级仿真

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本文概述了适用于MEMS系统仿真的几种方法,着重介绍了这些方法的基本思想、缺点,并初步实现了典型叉指电容式微加速度传感器的系统级仿真.

刘妤、重庆工学院、温志渝、张流强、梁玉前

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重庆大学,重庆,400044

重庆,400050

微加速度传感器 MEMS CAD 系统级仿真 宏模型

中国机械工程学会

中国微米纳米技术第七届学术年会

2005-08-13

大连

中国机械工程

293-295

2005