SOI高温压阻压力传感器的开发与应用

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SOI高温压阻压力传感器的开发与应用

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中文摘要：压阻式压力传感器是解决高温压力测量的优选方案，克服隔离PN结是问题的关键。通常的SOS法很不理想，该文报道了作者用微机械加工的硅衬底代替兰宝石衬底，用Si-Si直接键合工艺制作的SOI结构压阻高温压力传感器。

作者：

王文襄、刘秀娥、王麦广、杨根庆、张杆雄、陆德仁

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作者单位：

宝鸡传感器研究所

中科院上海冶金所

关键词：

压阻式压力传感器高温压力测量

主办单位：

中国电子学会

中国仪器仪表学会

中国航空学会

中国生物医学工程学会

会议名称：

第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议时间：

1999-10-01

会议地点：

北京

会议母体文献：

第六届全国敏感元件与传感器学术会议论文集

页码：

182-184

出版时间：

1999