硅基平面热线式NH<,3>敏元件的研究

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中文摘要：利用液相掺Sb的化学共沉淀方法制备了SnO<,2>-Sb纳米微粉，以其为气敏基体材料加入一些适量的掺寻研磨成气敏浆料，涂于带有Pt膜电极的硅衬底片上，经700℃焙烧制成气敏元件，对H<,2>、C<,2>H<,5>OH、NH<,3>等比较敏感。用NH<,4>VO<,3> 1.5wt℅的溶液含浸该元件，可改善元件对NH<,3>的选择性。

作者：

全宝富、金丽妍、全海英、陈丽华、孙良彦

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作者单位：

吉林大学电子工程系(长春)

关键词：

化学共沉淀法制备 SnO<,2>-Sb纳米微粉半导体气敏元件

主办单位：

中国电子学会

中国仪器仪表学会

中国航空学会

中国生物医学工程学会

会议名称：

第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议时间：

1999-10-01

会议地点：

北京

会议母体文献：

第六届全国敏感元件与传感器学术会议论文集

页码：

267-270

出版时间：

1999