S-520型扫描电镜保护性高压中断故障分析

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S-520型扫描电镜保护性高压中断故障分析

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中文摘要：本文通过S-520型扫描电镜-高压中断故障,对总线数据输入接口、地址译码接口及透镜高压控制电路做了较详细的分析,提供了各电路工作占实际检测数据并介绍了故障排除方法.

作者：

刘廷礼、邱琴

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作者单位：

山东大学实验中心(济南)

关键词：

扫描电镜高压中断故障分析故障排除

主办单位：

中国物理学会

会议名称：

第二届全国扫描电子显微学术会议

会议时间：

2001-08-10

会议地点：

包头

会议母体文献：

电子显微学报

页码：

438-439

出版时间：

2001