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磁过滤等离子体沉积和注入技术

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本文介绍了阴极真空弧放电技术的应用及磁放滤等离子体沉积和注入装置以及它的应用.

张荟星、李强

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北京师范大学低能核物理研究所 射线束技术与材料改性教育部重点实验室

等离子体沉积 离子注入 磁过滤

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