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电子束缩小投影成像曝光机控制系统

张今朝 方光荣 唐晖
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电子束缩小投影成像曝光机控制系统

张今朝 1方光荣 1唐晖1
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作者信息

  • 1. 中国科学院电工研究所(北京)
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摘要

本文介绍了电子束缩小投影成像曝光机的计算机控制系统,重点介绍了其系统结构、各部分指标参数.

关键词

缩小投影成像/曝光机/控制系统/电子束曝光机/光刻技术

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主办单位

中国电子学会

会议名称

第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议时间

2001-10-10

会议地点

成都

会议母体文献

第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会论文集

页码

53-54

出版时间

2001
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