FFPI粗糙度测量扫描方案探讨

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FFPI粗糙度测量扫描方案探讨

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中文摘要：本文针对双光纤F-P干涉仪测量高精度表面粗糙度的原理,提出了波长的空间扫描方法,并对其构成进行子分析

作者：

苏寒松、李坦、刘威、张金良

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作者单位：

天津大学(天津)

关键词：

光纤传感器粗糙度测量波长扫描光纤干涉仪

主办单位：

中国仪器仪表学会

会议名称：

中国仪器仪表学会第四届青年学术会议

会议时间：

2002-09-01

会议地点：

北京

会议母体文献：

仪器仪表学报/2002.3增刊(上、下册)

页码：

215-216

出版时间：

2002