用金属蒸汽真空弧(MEVVA)源离子注入机对烧结氮化硅,氧化铝及氧化锆陶瓷分别注入5×10<'16>-1×10<'18>ions/cm<'2>钛离子,用纳米压痕法对陶瓷注入层的力学性能测定表明,不同结构陶瓷注入钛离子后纳米硬度和杨氏模量随注入剂量的变化所受影响不同;氧化铝和氧化锆陶瓷在注入离子剂量较小时,纳米硬度随不放剂量增大而增大,但当注入钛离子剂量较大时,纳米硬度随注入剂量增大而减小;氮化硅陶瓷纳米硬度和杨氏模量随钛离子注入剂量的增加逐渐增大,材料组成和显微分析表明,这是由于不同陶瓷注入钛离子后发生的效应不同引起的.
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