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反射面平动式光栅光调制器的实现及机电特性分析

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本文提出了一种新型的光栅光调制器(GLM),它由可动平板阵列和固定光栅构成,通过可动平板的垂直运动,达到调制光束的目的.为验证该结构实现的可能性,得到器件的机电特性,根据微梁的力学理论进行了电力学理论分析,通过Coventor仿真软件进行了有限元仿真.分析表明,该器件所需驱动电压为16V,无明显的迟滞现象,可动平板的有效衍射面积较大,易于实现面阵结构,提高了光学衍射效率.

伍艺、黄尚廉、张洁、张智海

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重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室,重庆,400030

光栅光调制器 MEMS 多层梁 弹簧振子 反射面平动式

中国机械工程学会

中国微米纳米技术第七届学术年会

2005-08-13

大连

中国机械工程

1251-1253,1262

2005