伍艺、黄尚廉、张洁、张智海
重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室,重庆,400030
光栅光调制器 MEMS 多层梁 弹簧振子 反射面平动式
中国机械工程学会
中国微米纳米技术第七届学术年会
2005-08-13
大连
中国机械工程
1251-1253,1262
2005