用交流光热法测量极薄膜热扩散率的原理探讨

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中文摘要：本文拟扩展测量薄膜(厚度为几十微米以上)热扩散率的周期热流法的功能,用它来测量极薄膜的热扩散率.在微细加工飞速发展的今天,有可能制造出特定设计的样品,使其局部区域为极薄膜,而其他区域则为通常薄膜.本文提出了通过制作特定样品用周期热流法测试极薄膜热扩散率的原理.

作者：

顾毓沁、阮修林、郝京阳

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作者单位：

清华大学工程力学系,传热强化与过程节能重点实验室(北京)

关键词：

热扩散率极薄膜周期热流法二维导热交流光热法

主办单位：

中国工程热物理学会

会议名称：

中国工程热物理学会传热传质学学术会议

会议时间：

2002-10-01

会议地点：

上海

会议母体文献：

中国工程热物理学会传热传质学学术会议论文集

页码：

885-888

出版时间：

2002