纳米压痕法测量PZT压电薄膜的界面强度

扫码查看

原文链接

NETL

中文摘要：用sol-gel法制备了锆钛酸铅Pb(Zr<,0.52>Ti<,0.48>)O<,3>(PZT)压电薄膜,用纳米压痕技术测量PZT压电薄膜的界面强度.考虑压电效应对薄膜界面强度的影响,提出弹性地基梁模型.将采用该模型测量的PZT薄膜界面强度与未考虑薄膜压电性的压痕法和划痕法的测量结果进行比较,得出结论,压电效应会降低PZT薄膜的界面强度.

作者：

郑学军、周益春

展开 >

作者单位：

湖南湘潭大学基础力学与材料工程研究所(湖南湘潭)

关键词：

压电薄膜纳米压痕法弹性地基梁界面强度锆钛酸铅薄膜膜材料压痕载荷

主办单位：

中国力学学会

会议名称：

全国固体力学学术会议

会议时间：

2002-08-19

会议地点：

大连

会议母体文献：

全国固体力学学术会议论文集

页码：

802-807

出版时间：

2002