热处理条件对溶胶-凝胶法制备多孔TiO<,2>薄膜微观结构的影响

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中文摘要：以钛酸异丁酯为先驱物,乙二醇甲醚为溶剂,羟基纤维素(HPC)为添加剂,用溶胶-凝胶法制备了厚度在270nm~420nm的多孔TiO<,2>薄膜.重点研究了薄膜微观形貌与热处理时间的关系,并对薄膜的截面电阻率进行了研究.在二次热处理温度550℃下处理60min下得到多孔、厚度最大,截面电阻率最小的TiO<,2>薄膜.

作者：

杨金坚、赵高凌、韩高荣

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作者单位：

浙江大学硅材料国家重点实验室(浙江杭州)

关键词：

二氧化钛薄膜多孔薄膜热处理条件纤维素溶胶凝胶法

主办单位：

中国硅酸盐学会

会议名称：

第三届全国溶胶-凝胶科学技术学术会议

会议时间：

2004-05-01

会议地点：

杭州

会议母体文献：

稀有金属材料与工程2004年12月第33卷增刊3

页码：

250-253

出版时间：

2004