掺杂ZnO薄膜研究

国家学术搜索

首页|掺杂ZnO薄膜研究

掺杂ZnO薄膜研究

扫码查看

原文链接

NETL

中文摘要：采用电子束蒸发方法在玻璃衬底上制备ZnO薄膜和掺杂ZnO薄膜.通过X射线衍射、台阶仪及Hall效应等测试研究了衬底温度和掺杂对晶体质量和电学性能的影响,发现原位长生的ZnO薄沿c轴择优生长,且掺杂ZnO薄膜具有低达3.029×10<'-4>Ω·cm的电阻率.

作者：

郝瑞亭、刘焕林、杨宇

展开 >

作者单位：

云南大学材料科学与工程系(云南昆明)

关键词：

ZnO薄膜电子束蒸发电学性能 XRD分析半导体材料掺杂ZnO薄膜

主办单位：

中国仪器仪表学会

中国金属学会

中国稀土学会

中国复合材料学会

中国有色金属学会

会议名称：

第五届中国功能材料及其应用学术会议

会议时间：

2004-09-12

会议地点：

秦皇岛

会议母体文献：

第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ

页码：

157-159

出版时间：

2004