Micro-Raman光谱鉴定碳化硅单晶的多型结构

扫码查看

原文链接

NETL

中文摘要：利用激光拉曼光谱仪测量了SiC单晶中不同多型的显微Raman光谱.在Raman光谱中,最大强度的FTA模和FTO模应出现在其简约波矢x等于该多型的六角度h处,据此对4H-SiC单晶中的多型进行了鉴定.同时采用高分辨X射线衍射测量了该晶片不同区域的摇摆曲线,将不同多型体的计算衍射角与实验值加以比较,对SiC晶片中的多型进行了标注,所得结论与激光Raman光谱测定结果相一致,说明Raman光谱是一种简单、快速地鉴定多型结构的强有力的工具.实验结果表明,在升华法生长4H-SiC单晶过程中,容易出现寄生6H、15R多型同4H多型的竞争生长,简单分析了寄生多型产生的原因.

作者：

王丽、胡小波、董捷、李娟、姜守振、李现祥、徐现刚、王继扬、蒋民华

展开 >

作者单位：

山东大学晶体材料国家重点实验室(山东济南)

关键词：

显微激光 Raman光谱 X射线摇摆曲线 SiC单晶多型鉴定

主办单位：

中国仪器仪表学会

中国金属学会

中国稀土学会

中国复合材料学会

中国有色金属学会

会议名称：

第五届中国功能材料及其学术会议

会议时间：

2004-08-01

会议地点：

秦皇岛

会议母体文献：

第五届中国功能材料及其学术会议论文集Ⅲ 第35卷增刊

页码：

3400-3404

出版时间：

2004