基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器

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中文摘要：微型化、集成化可以使得传感系统减少体积、重量,降低成本,提高系统的可靠性,具有重要的科学意义.基于聚酰亚胺材料,利用MEMS技术,设计了一个用于测量大气湿度、温度和气压检测的微型集成传感器.分别采用湿敏电容、铂电阻法和聚酰亚胺薄膜对湿度、温度、压力进行检测,并且进行了理论计算,设计了加工工艺步骤,制作出雏形器件.

作者：

武宇、赵湛、方震、张博军

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作者单位：

中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室(北京)

关键词：

集成传感器 MEMS 聚酰亚胺湿度温度压力加工工艺

主办单位：

中国仪器仪表学会

会议名称：

中国仪器仪表学会第六届青年学术会议

会议时间：

2004-08-01

会议地点：

重庆

会议母体文献：

仪器仪表学报

页码：

101-103

出版时间：

2004