首页|双晶片热致动微型镜的结构设计

双晶片热致动微型镜的结构设计

扫码查看
原文链接
  • NETL
本文通过分析几种常用的致动器及双晶片热致动器的结构弯曲特性,设计出一种双晶片热致动微型镜器件的结构,并指出该器件的适应范围和特点。

苏淑靖、杨晓敏、张文栋

展开 >

华北工学院电子工程系,030051

传感器 双晶片 致动器 微型镜

中国兵工学会

中国兵工学会第十一届测试技术学术年会

2002-08-01

成都

测试技术学报

1003-1008

2002