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实用化电子束曝光机的真空系统

薛虹 顾文琪 刘俊标 初明璋 唐晖 徐彧
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实用化电子束曝光机的真空系统

薛虹 1顾文琪 1刘俊标 1初明璋 1唐晖 1徐彧1
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作者信息

  • 1. 中国科学院电工研究所微纳加工研究部
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摘要

本文简述了实用化电子束曝光机真空系统设计要求、系统组成、真空自动控制及设备所达到的真空指标.

关键词

电子束曝光/自动控制/真空系统

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主办单位

中国电子学会

会议名称

第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议时间

2003-10-22

会议地点

北京

会议母体文献

第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会论文集

页码

118-120

出版时间

2003
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