硅基Ge量子点红外探测器的研究

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中文摘要：量子点中电子和空穴强的量子限制作用使其表现出一些新颖的物理性能,从而在微电子和光电子器件方面有着重要的应用价值.硅基Ge量子点红外探测器更是由于具有对正入射光敏感、响应度高、且易与硅集成电路相容的特点,而成为当今纳米器件研究的一个热点.本文介绍了一种硅基Ge量子点红外探测器的结构、原理、制备及探测性能的简单测试.

作者：

魏榕山、王吉林、熊晨荣、张磊、邓宁、陈培毅

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作者单位：

清华大学微电子学研究所(北京)

关键词：

量子点红外探测器光电探测器光电流

主办单位：

中国电子学会

会议名称：

第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会

会议时间：

2003-10-22

会议地点：

北京

会议母体文献：

第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会论文集

页码：

354-357

出版时间：

2003