真空微电子学与微真空电子器件的新进展

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中文摘要：近年来真空微电子学发展迅速,在诸多领域有着重要的应用及发展前景.场致发射阴极和微加工技术是真空微电子学研究的核心与手段,而微真空电子器件则是在真空微电子学基础上产生的具有极大潜力的,被誉为"21世纪初最重要的器件之一".本文对以上作了详尽的阐述.

作者：

欧阳勤

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作者单位：

北京真空电子技术研究所(北京)

关键词：

真空微电子学场致发射阴极微真空电子器件微加工技术

主办单位：

中国电子学会

会议名称：

中国电子学会真空电子学分会第十四届学术年会暨军用微波管研讨会

会议时间：

2003-08-01

会议地点：

丹东

会议母体文献：

中国电子学会真空电子学分会第十四届学术年会暨军用微波管研讨会论文集

页码：

340-343

出版时间：

2003