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一种基于特征传递的MEMS"Top-down"集成设计方法

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结合微陀螺的设计,提出了一种新的"Top-down"集成设计方法,并研究了从MEMS器件的三维实体模型自动生成二维版图文件的关键技术,从而实现"Top-down"集成设计过程.

常洪龙、苑伟政

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西北工业大学,飞行器制造工程系,微/纳米系统实验室(西安)

MEMS 集成设计 "Top-down"方法 特征传递 微机械电子系统 微陀螺

国家自然科学基金委员会

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重庆大学

第五届全国微米/纳米技术学术会议

2001-10-01

重庆

压电与声光2001第23卷5增刊

182-184

2001