微结构动态特性测量系统研究

扫码查看

原文链接

NETL

中文摘要：研究提出了在不同温度和湿度条件下,DAVIES杆进行微结构动态特性研究的新方法,即,将微结构和一个弹性杆—DAVIES杆置于一个温湿度可调节的环境发生器中,微结构粘贴在DAVIES杆的一端,用高速子弹撞击DAVIES杆的另一端,根据应力计所测应力及应力波在杆内传播的理论模型,可以精确获得微结构所受到的脉冲激励,微结构的响应利用激光位移干涉仪测量,通过输入与输出的拉氏变换,求出微结构的动态响应.文章给出了该方法的基本理论、系统构成,数据处理及结论,其中还较详细地介绍了用于本系统的激光干涉仪的组成特点及其工作原理.

作者：

张文栋、梅田章、小林健雄

展开 >

作者单位：

华北工学院(太原)

工业技术研究院(日本筑波)

关键词：

微结构动态特性激光干涉仪应变测量空气枪 DAVIES杆微机械电子系统

主办单位：

国家自然科学基金委员会

科技部

解放军总装备部

清华大学

重庆大学

会议名称：

第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议时间：

2001-10-01

会议地点：

重庆

会议母体文献：

压电与声光2001第23卷5增刊

页码：

381-383

出版时间：

2001