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中空阴极磁控溅射法制备氮化碳薄膜的光电子能谱及红外光谱研究
杨业智1
作者信息
摘要
用中空阴极磁控溅射的方法，研究人员制备了氮化碳薄膜。X射线光电子能谱红外光谱研究表明，膜中含有两种相的氮化碳。第一种相对应的结构为C<,2>N，碳以sp杂化形式和风原子化合，而第二种相对应的结构为β-C<,3>N<,4>，碳原子以sp<'3>杂化方式和氮化合。
关键词
β-C<,3>N<,4>/中空阴极磁控溅射/X射线光电子能谱/红外光谱引用本文复制引用
主办单位
中国金属学会功能材料分会会议名称
第三届中国功能材料及其应用学术会议会议时间
1998-11-01会议地点
重庆会议母体文献
功能材料(第29卷增刊)页码
867-869出版时间
1998